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RC-340高速沉铜工艺
发布时间：2020.04.23 15：56 作者：仁昌奥克 文章来源： 仁昌科技
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RC-340高速沉铜溶液为非常稳定的沉铜系统，可用同一种溶液生产出结构致密、延展性好的厚沉铜层和薄沉铜层。该系统药水浓缩程度高、添加量少，工作液比重低、流动性好.
一、特点
1、 操作温度低，溶液稳定性好，沉积速率快；
2、 工作溶液的添加，只用二种补充剂，操作简单；
3、 溶液在孔壁上的沉积速率高于铜表面上的沉积速率。
二·配方及操作条件
项目 | 范围 | 最佳值 |
铜浓度 | 2.5～3.5 g/L | 3.0 g/L |
氢氧化钠 | 8.0～12.0 g/L | 10.0g/L |
甲醛 | 3.0～4.0 g/L | 3.5g/L |
RC-340Mu | 6.0 %v/v | |
RC-340A | 3.5%v/v | |
RC-340B | 3.5%v/v | |
PH | 12.8～13.0 | 12.9 |
温度 | ||
预镀铜 | 55～62℃ | |
甲醛 | 10-20ML/L | |
厚铜 | 45～55℃ | |
薄铜 | 33～37℃ | |
过滤 | 连续过滤, 10mm孔径聚丙烯低吸附性材料 | |
搅拌 | 空气搅拌 | |
镀槽 | 聚丙烯、PVDC、高密度聚乙烯 | |
挂具 | 聚丙烯、PVDC、316型不锈钢 | |
加热器 | 聚四氟乙烯、石英加热器 | |
三、溶液配制
1、清洗镀槽，加入计算量的蒸馏水或去离子水，加热至45℃；
2、搅拌下加入计算量的RC-340 Mu，充分混合；
3、搅拌下加入计算量的RC-340 A，充分混合；
4、搅拌下加入计算量的RC-340 B，充分混合；
5、调节温度至所需范围，溶液即可使用。
注：溶液配好后不宜长时间存放，只有在使用之前才进行第3、4工序。
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